屹唐半导体和中微公司对比：刻蚀赛道上的两家国产厂商

同在刻蚀赛道，位置不同

中微公司和屹唐半导体都做干法刻蚀设备，是这个赛道上仅有的几家国产力量中的两家。位置差异很直观：2023年全球干法刻蚀市场，中微份额约4.33%，屹唐约0.21%；到2025年，屹唐份额升至0.5%左右，收入7.54亿元。中微深耕刻蚀多年，屹唐则是从去胶、热处理向刻蚀延伸的后进入者。

技术路线各有侧重

中微的强项在电容性等离子体刻蚀，介质刻蚀设备打入台积电等先进产线，名气主要来自刻蚀单一品类的深度。屹唐的技术底座是等离子体和温控平台，去胶设备全球第二、热处理设备全球第二，刻蚀设备用于65纳米到5纳米逻辑、10纳米级DRAM、32层到128层3D闪存的若干关键步骤，2025年新一代RENA-E量产并获得重复订单。

财务与业务结构对照

2025年，屹唐营收50.76亿元，归母净利润6.71亿元，收入由三条产品线构成，去胶贡献基本盘，热处理和刻蚀提供增长。中微的收入更集中于刻蚀设备。毛利率方面，2024年中微约41.06%，屹唐37.39%，中微略高。

两家与其说是对手，不如说是国产刻蚀突围的两种样本：一个靠单点深耕打响名声，一个靠平台协同稳步切入。国内晶圆厂扩产带来的刻蚀设备需求足够大，容得下多家国产厂商共同成长。数据引自Gartner统计及两家公司公开披露。