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精密制造,科技引领

8英寸产线改造可以选北方华创哪些设备?

8英寸产线改造的需求特点8英寸产线多承担功率半导体、模拟芯片、MEMS等产品,改造需求通常来自两个方向:一是老设备到寿更新,二是产品升级带来的工艺能力扩容。改造讲究兼容现有厂房条件和工艺体系,设备选型务实为先。可供选择的北方华创设备功率方向的改造,北方华创的扩散炉、刻蚀机、PVD、清洗机都有对应的8英寸应用空间,碳化硅功率器件产线还可选其SiC专用装备。光刻配套环节,芯源微的KS-FT200/

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功率半导体制造可以用北方华创哪些设备?

功率器件制造的工艺特点功率半导体的主角是IGBT、MOSFET这类器件,工艺上既有硅基路线,也有碳化硅路线。硅基功率器件多用8英寸产线,深结扩散、厚金属化是其工艺特点;碳化硅器件则涉及长晶、外延、高温注入激活等特殊环节。可用的北方华创设备清单硅基功率产线上,北方华创的扩散炉负责深结掺杂,刻蚀机处理沟槽栅等结构,PVD完成正面金属化和背面金属化,清洗机穿插各工序。碳化硅功率产线的需求更全套:AP

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北方华创精密电子元器件业务包含哪些产品?

不只是设备:北方华创的另一块业务很多人只知道北方华创做半导体设备,其实公司还有一块历史更久的业务——精密电子元器件。这块业务承袭自原国营700厂体系的产业积累,是公司上市初期的重要收入来源之一。元器件业务的主要产品据公司公开资料,精密电子元器件产品包括电阻、电容、晶体器件、模块电源、微波组件等品类。这类产品单价不高,但可靠性要求严苛,下游多是对稳定性敏感的专业领域。元器件业务与半导体装备、真空

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北方华创刻蚀机有哪些类型?应用工艺介绍

刻蚀机为什么要分类型芯片制造里的刻蚀,是把光刻定义好的图形精确转移到下层材料上的工序。被刻蚀的材料不同,设备的技术方案也不同,所以刻蚀机通常按加工对象分为硅刻蚀、金属刻蚀、介质刻蚀等类别。北方华创的刻蚀产品线正是沿这个思路展开的。北方华创刻蚀机的主要类型公开资料显示,北方华创的刻蚀设备覆盖硅刻蚀机、金属刻蚀机等多个方向,以电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术为代表。其中NMC612D属于12英寸

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