东方晶源微电子 · 产品与解决方案
关键尺寸测量设备
对半导体纳米结构关键特征进行精密量测。
计算光刻软件
用于辅助芯片设计与工艺优化，提升光刻分辨率。
电子束缺陷检测设备
利用高精度电子束实现芯片制造过程中的纳米级缺陷监测。
