东方晶源YieldBook良率管理平台：数据如何变良率

平台是什么

YieldBook是东方晶源打造的良率数据管理平台。晶圆厂每天产生海量数据：量测值、缺陷图、设备参数、电性测试结果。这些数据散在不同系统里，格式各异。YieldBook做的事是把它们汇聚、清洗、关联起来，变成可分析的良率信息。

为什么需要专门的平台

良率问题往往不是单点问题。某个良率损失可能关联特定设备、特定工艺层、特定时间段。没有统一的数据平台，工程师要在多个系统间手工搬数据、对坐标，分析效率低。平台化的数据管理让缺陷溯源、趋势监控、批次对比这类分析可以快速完成。

AI的用武之地

东方晶源将AI视为公司成长与发展的基因之一。公司新一代电子束缺陷检测设备就采用AI加持的良率数据管理系统。基于机器学习的缺陷自动分类（ADC）算法，能把海量缺陷图片自动归类，工程师聚焦在关键缺陷上——这正是俞宗强所说的“量得少，解决问题”的高效模式。

在HPO中的位置

HPO理念强调把设计、制造过程通过Digital Fab打通数据交互。YieldBook向上承接CD-SEM、EBI、DR-SEM等设备的量检测数据，横向连接计算光刻仿真结果，为良率最大化提供数据底座，是东方晶源软硬件协同方案中黏合剂一样的存在。