从单边优化到联合优化传统OPC只修改掩模图形，光源是固定的。SMO（SourceMaskOptimization）把光刻机的照明光源形状也纳入优化变量：什么样的光瞳形状，配合什么样的掩模图形，能得到最大的工艺窗口。两个自由度一起调，解空间比单改掩模大得多。为什么需要SMO制程进入先进节点后，仅修掩模已不足以把工艺窗口撑到量产要求。对周期性强的图形（比如存储器的阵列），定制化的光源形状能明显增强
平台是什么YieldBook是东方晶源打造的良率数据管理平台。晶圆厂每天产生海量数据：量测值、缺陷图、设备参数、电性测试结果。这些数据散在不同系统里，格式各异。YieldBook做的事是把它们汇聚、清洗、关联起来，变成可分析的良率信息。为什么需要专门的平台良率问题往往不是单点问题。某个良率损失可能关联特定设备、特定工艺层、特定时间段。没有统一的数据平台，工程师要在多个系统间手工搬数据、对坐标，
融资脉络东方晶源的融资节奏与其产品落地节奏基本同步。2021年9月，公司宣布完成新一轮数亿元股权融资，由赛领资本、深创投领投，多家知名投资机构联合投资。当时公司三款核心产品刚在客户产线完成验证并拿到订单，资金主要投向前道电子束检测和计算光刻系统的研发。C轮与D轮2022年10月，公司完成近10亿元C轮融资。2023年，公司完成数亿元D轮融资，本轮由深创投、赛领资本领投，投后估值达到80亿元。2
公司基本情况东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司注册成立于2014年2月18日，总部设在北京经济技术开发区（亦庄）。亦庄是北京集成电路产业的主阵地，公司从创立起就扎根这里，十余年一直做一件事：集成电路制造的良率管理。创始人俞宗强公司董事长为俞宗强博士。他的研究领域覆盖先进光刻技术、EDA软件工具以及高端芯片制造在线检测和量测装备，累计申请国内外专利近50项，发表技术论文近30篇。2014年他